超電導層

　超電導層はPLD法(Pulsed Laser Deposition法)を用いて製造しています。PLD法は、高品質の超電導層を製造する重要なプロセスです。この方法は、強力なレーザー光をターゲットに打ち付けて、ターゲット上の物質を飛ばして中間層付基板上まで飛ばし堆積させます。
PLD法では組成、厚さ、微細構造を厳密に制御した超電導層を製造することが出来ます。